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無(wú)塵車(chē)間工作原理及基本參數
瀏覽次數:2175發(fā)布日期:2013-04-22

 凈化車(chē)間zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。按照慣例,無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了無(wú)塵標準的*。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?,這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。

凈化車(chē)間一般結構材料

1.凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造   

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。   

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。   

4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀(guān)清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔

常規參數

換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。

壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;

溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。   

溫度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。   

噪聲≤65dB(A);

新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;

照度300LX